正硅酸乙酯

中文别名：四乙氧基硅烷，硅酸四乙酯，硅酸乙酯

外文名Tetraethyl orthosilicate

分子式C8H20O4Si

分子量208.327

CAS NO78-10-4

EINECS号201-083-8

外  观 无色透明液体

溶解性 微溶于水，微溶于苯，混溶于乙醇

熔  点-77 ℃

沸  点168 ℃

密  度0.94 g/cm3

闪  点43 ℃（OC）

含  量：28%，40%

用途：正硅酸乙酯（TEOS）是一种常用的硅源，主要用于制备SiO2气凝胶，并广泛用于电子、涂料、玻璃和陶瓷等领域。以下是正硅酸乙酯的具体用途：

（1）电子领域：正硅酸乙酯可用于化学气相沉积工艺，形成二氧化硅淀积膜，以阻挡污染物和杂质进入半导体元件，同时可以产生导电层或绝缘层、产生减反射膜提高吸光率、临时阻挡刻蚀等。电子级TEOS也可用于制造精密铸造胶黏剂。

（2）涂料领域：正硅酸乙酯是制备耐热和耐化学腐蚀涂料的重要原料，也可用于制造有机硅溶剂。它还可以用作防热涂料、耐化学作用的涂料、有机合成中间体等。

（3）玻璃和陶瓷领域：正硅酸乙酯可用于光学玻璃处理，提高其透光度。在陶瓷领域，它可以用于制造水晶的基本原料，以及作为结合剂。

（4）其他用途：正硅酸乙酯还可用作金属表面防腐和防水处理的材料，通过硅酸乙酯蒸气处理后的金属表面具有防腐防水的特性。此外，它还可以用于制造荧光粉、化学试剂等